FIDURA-Fonds-Beteiligung mechatronic systemtechnik gmbh stellt Produktinnovation vor

Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentierte vor Kurzem zwei neu entwickelte Stand-Alone-Systeme: Taiko Ring Remover TRR200/300 und Frame Packing Tool FPT150/200. Dies geht aus einer Pressemitteilung der FIDURA Capital Consult GmbH hervor.

(fw/ah) "Der Taiko Ring Remover TRR200/300 ermöglicht erstmals das vollautomatische Entfernen des durch Laserschnitt durchtrennten Rings am laminierten 200mm (8”) und 300mm (12”) Wafer. "Während bisher der Ring mit großem Aufwand per Hand entfernt werden musste, lässt der TRR200/300 ein automatisiertes Entfernen mit einem Durchsatz von 80 Wafer pro Stunde zu", erklärt Walter Schober, CEO der mechatronic systemtechnik gmbh. Das Handling-System wird mit einer Dual-Cassette-Plattform mit automatischer Kassettenerkennung sowie einem Mapper zur Detektion von Anzahl, Position und möglicher Fehlausrichtung der Waferframes in einer Kassette ausgeliefert. Der TRR200/300 ist zusätzlich mit einem berührungslosen opto-elektronischen Exzentrizitätsdetektor für Waferframes und einer OCR-Einheit für Barcodes ausgestattet. Das neue System erfüllt die Richtlinien für den Einsatz in Klasse 100-Reinräumen nach der Federal Standard 209E-Norm und ist konform mit den Spezifikationen nach CE.

Das neue Frame Packing Tool FPT150/200 ist eine hochleistungsfähige Anlage zum vollautomatischen Transfer von 150mm (6") und 200mm (8") Waferframes zwischen Kassetten und Shipping-Boxen. "Aufgrund seines rein frontseitigen Bedienbereichs weist die Anlage eine um 65 Prozent reduzierte Grundfläche auf und nutzt damit die kostspieligen Flächen in Reinräumen bis zur Klasse 10 deutlich effizienter", erklärt Schober. "Während vergleichbare Anlagen des Mitbewerbs lediglich bis zu 150 Frames pro Stunde verarbeiten, ermöglicht unsere Neuentwicklung einen doppelt so hohen Durchsatz", so Schober weiter. Hierfür ist das FPT150/200 mit einem hochleistungsfähigen, mehrachsigen Roboterarm und zwei individuellen Beladestationen ausgestattet. Die Bedienung der Anlage erfolgt über eine intuitive und ergonomische Benutzeroberfläche auf einem modernen 19"-Touchscreen mit optionalem Keyboard. Die Programmierung der Bewegungsabläufe wird an die jeweiligen Anforderungen des Handlingprozesses individuell angepasst, um die maximale Leistung des FPT150/200 auszuschöpfen. "Die beiden neuen Anlagen sind die innovative Erweiterung unseres Produktportfolios und tragen den gestiegenen Kundenbedürfnissen Rechnung", fasst Schober zusammen.